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MTI Instruments半自動計量系統

發布時間：2021-07-01 17:08:13 瀏覽：2081

MTI Instruments半自動計量系統是一種用于半導體和半絕緣質料的臺式/臺式半主動晶圓測量體系。基于 MTII 獨有的推挽電容技術，MTI Instruments半自動計量系統供應完備的晶圓外貌掃描，用于厚度、厚度變更、蜿蜒、翹曲、sori、地位和整體平坦度。用戶界說且合乎 ASTM/SEMI 的掃描模式用于生產完備的 3 維 (3D) 晶圓圖像。

MTI Instruments半自動計量系統定制的數據匯報可用于稽查測量的每個晶片的表格數據，并疾速、放松地導出到您的電子表格法式。

晶圓規格直徑： 150 毫米、200 毫米、300 毫米；

質料：全部半導體和半絕緣晶片，包含 Si、GaAs、Ge、SiC、InP；

外貌：切割、研磨、蝕刻、拋光、圖案化；

平頭/缺口：全部 SEMI 規范平頭或缺口；

電導率： P 或 N 型；

半自動計量系統.png

特性

怪異的 MTI 電容傳感器，具有雋拔的精確性和可重疊性；

完備的 1000 μm 厚度測量局限，無需從新校準；

測量厚度、TTV、蜿蜒度、翹曲度和地位以及整體平坦度的Windows ?用戶界面；

ASTM 規范測量；

SEMI S2-0200 健康和安全合規計劃；

SEMI S8-0999 合乎人體工程學的計劃；

測量全部質料，包含 Si、GaAs、Ge、InP、SiC ***只有體電阻率小于 20K Ohm/cm；

深圳市立維創展科技有限公司，優勢直接渠道提供MTI Instruments訂貨服務，歡迎咨詢。

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	規格	范圍	準確性
厚度	ASTM F533	+/- 500 微米	+/- 0.25 微米
電視	ASTM F657	+/- 500 微米	+/- 0.25 微米
弓	ASTM F534	+/- 250 微米	+/- 2.0 微米
經	ASTM F1390	+/- 250 微米	+/- 2.0 微米
索里	ASTM F1451	+/- 250 微米	+/- 2.0 微米
平整度（現場）	ASTM F1530	8 毫米 *	+/- 0.15 微米
平整度（全球）	ASTM F1530	8 毫米 *	+/- 0.15 微米

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